电子化学品工作组在北京隆重成立了！

2021年4月13-14日，中国石油和化学工业联合会高端专用化学品专业委员会（以下简称高专委）主办的电子化学品工作组成立大会暨首届电子化学品与材料发展高峰论坛在京隆重召开。中国石油和化学工业联合会李寿生会长出席会议并致辞，工业和信息化部原材料司、中国科学院重大科技任务局到会指导，中国石油和化学工业联合会李彬副会长主持会议。中国石油和化学工业联合会党委常委、副秘书长、化工行业生产力促进中心主任胡迁林当选为电子化学品工作组组长，中国科学院过程工程研究所张锁江院士被聘为专家委员会主任委员。李文军研究员当选为工作组秘书长。来自全国高校、科研院所、企业的近300名代表出席了会议。

李寿生会长讲话指出，“十四五”期间，是中国石油和化学工业高质量发展、全力提升行业核心竞争力的关键五年，从“十四五”期间，我们行业高质量发展、提升行业核心竞争力的三大任务中，我们已经看出今天电子化学品工作组的成立，是我们行业“十四五”高质量发展进程中的一件大事，也是我们行业提升核心竞争力的一件标志性的重大措施。

李寿生会长强调指出，电子化学品的核心竞争力是打造和培育未来的竞争优势。根据我国电子化学品发展的现状，以及我国电子信息产业的龙头跨越地位，“十四五”期间，我国电子化学品的发展必须面向未来，打造和培育未来的竞争优势。要打造和培育满足用户核心技术需求、打造和培育技术差异化的优势，打造和培育产业链、供应链配套延伸的优势。

李寿生会长对工作组的成立给予厚望，对工作组的工作提出了两点要求。一是要制定一个明确的开创未来的发展规划。希望工作组成立后，再集思广益，把未来创新发展重点进一步统一认识，进一步聚焦优势，以“抓铁有痕、踏石留印”的精神，一张蓝图绘到底！二是充分发挥我们的体制优势和组织优势，抓落实，出成绩。要在工信部、中科院的统一领导和指导下，把生产企业、科研单位、下游用户和业内专家组织起来，集中力量办大事，齐心协力办难事，提高效果出成果，并期待电子化学品产业将不久的将来拿出一份别开生面、成果纷呈、世界领先的五彩斑斓的精彩画卷！

工业和信息化部原材料司张凡调研员对电子化学品工作组的成立表示祝贺，她介绍了工信部原材料司在电子化学品方面所开展的工作，认为由石化联合会来牵头组建这个工作组，正当其时，要抓住这个战略机遇期，有为才有位，最后她对工作组的下一步工作提出了几点希望：一是加强补短板技术的攻关组织引领。二是加强行业的组织协调。三是促进上下游行业信息交流。

中科院重大科技任务局何京东处长从他自身的国外交流经历讲到了中美竞争是一种中西方意识形态的竞争，难以避免，许多领域，尤其是高纯电子化学品、材料等一旦受到管制断供，很多企业就会面临生存困境。然后从中科院的定位角度出发，中科院作为国家人担国家责任做国家事，作为原始创新策源地，要把基础研究和原始创新能力建设摆在更加突出的位置，坚持“两条腿走路”，既瞄准科技前沿的重大科学问题，更要从卡脖子问题清单和国家重大需求中提炼和找准基础科学问题，以应用倒逼基础研究，以基础研究支撑应用，为关键核心技术突破提供知识和技术基础。中科院一直密切关注企业需求，这次电子化学品高端论坛，成立电子化学品工作组，正是一个很好打造电子化学品全产业链创新重要契机，中科院将创新资源的整合，深入紧密针对高新企业面临难题，与石化联合会一起强强联合，做好下步工作！

中国石油和化学工业联合会李彬副会长宣读了《关于对电子化学品工作组组建方案的批复》，中国石油和化学工业联合会党委常委、副秘书长，化工行业生产力促进中心主任胡迁林为工作组组长，张锁江、王胜田、肖劲松、钱晓春、刘振荣、李明丰、刘准、谭松林、王存文、谭学军、周建辉、吴天舒、崔德政、李少平、朱新宝、姚庆伦、李世江、孙一懿、宋愚贤等19为同志为工作组副组长，李文军研究员为工作组秘书长。

 

李寿生会长和张锁江院士会长为电子化学品工作组揭牌

当选为工作组组长的胡迁林研究员，作了大会发言。他表示，感谢大家的信任，深感责任重大、使命光荣，一定严格遵守工作组的工作规程，恪尽职守，勤勉尽责，认真履行组长的责任和义务，团结广大成员单位和专家，努力工作，共同为促进我国电子化学品工业实现自主可控和高质量发展做出积极贡献。

胡迁林研究员分析提出了工作组的四项重点工作。一是着力开展技术创新。二是狠抓标准体系建设。三是加强上下游协调。四是促进技术信息交流。在此基础上，他提出了工作组2021年的七项重点任务：一是开展行业发展战略及政策研究。二是组织开展技术攻关。三是开展团体标准、行业标准编制。四是组织召开技术交流会、研讨会。五是开展创新平台建设工作。六是为成员单位技术创新提供服务。七是为成员单位提供信息服务。

 

专家委员会主任委员张锁江院士介绍了过程所在电子化学品领域开展的工作，过程所牵头正在组建电子化学品创新中心，他欢迎各界人士到所里进行交流。在推动电子化学品发展过程中，他将全力推进中科院创新资源的整合，利用好联合会这个平台，强强合作，为电子化学品的自主可控发挥积极作用。张锁江院士指出专家委员会的职责四个重点方面，第一加强战略研究，制定电子信息化学品和材料的发展路线图，把其中的重点难点要找出来。电子信息化学品与材料时化学化工和材料领域的战略制高点，也是国家核心竞争力的重要代表。第二紧紧依靠高新技术企业的力量，同时依托中科院和高校的研发力量，加强关键共性基础研究。第三搭建电子化学品领域研发检测一体化大平台，建议专委会搭建一个电子化学品研发检测大平台，强有力地支撑行业研发发展。第四大力研发先进的分析测试技术，软硬件结合，过程工程所长期致力于精细化工研究领域，过程所作为秘书处的单位，这次我们也会揭榜挂帅，打造过程工程+，大家有研发、测试等科技合作需求，我们责不旁贷，同时我们会建立开放的交流合作机制，从人才、仪器平台、研发平台大力有力支撑我们国家电子，同时我们也欢迎大家对我们进行指导。最后希望我们的工作小组与在座的行业专家们一道，共同为我们国家电子化学品行业从跟踪模仿到自主研制再到引领行业跨越发展做出贡献！

 

在首届电子化学品与材料发展高峰论坛上，彭孝军院士和任其龙院士做了精彩学术报告。彭孝军院士作了《极紫外光刻胶的思考》的报告。激发波长从可见光波长逐步向高能的短波长发展，成为光刻胶发展的主流趋势。未来发展5 nm以下的分辨节点，急需发展13.5 nm的极紫外光（EUV）光刻技术。极紫外彻底改变了传统光刻系统，具有空前的挑战性。如：①极紫外光对C、H、N、S等传统有机化合物元素的吸收截面极小，接近透明，没有吸收就难于获得能量而被激发，不能发生高效率的光刻反应；②传统光刻胶由光致产酸剂+有机聚合物组成，由于质子扩散，分辨率难于提升，后者分子量太大，难于实现2-3 nm的分辨；③EUV光子能量增大到92 eV，进入辐射化学领域，基础研究不足；④而相同功率的极紫外光（13.5 nm）的光子数仅为深紫外(ArF,193 nm）光子数的7%，这对光刻胶的灵敏度提出了更高要求。

 

 

任其龙院士作了《含氟电子特气分离纯化技术现状与展望》。电子特气贯穿半导体各步工艺制程，决定了集成电路的性能、集成度、成品率，是名副其实的电子工业“血液”。随着我国电子行业的发展及国产化需求，对电子特气的纯度要求也逐渐提高。含氟电子特气作为清洗剂、蚀刻剂，是电子特气的重要组成部分，然而由于其复杂的生产工艺，产品中往往存在一些热力学性质相似的氟氯烃杂质无法通过常规精馏方式分离。本报告聚焦分子辨识分离技术，基于产品与杂质分子尺度的差异，提出针对含氟电子特气的分离策略，构建新型多孔分离材料，实现电子级产品中性质相似氟氯烃杂质的高选择性分离，为含氟电子特气的高效提纯提供新的思路。

 

首届电子化学品与材料发展高峰论坛下午安排了两个分会场。

电子化学品发展论坛由中国科学院过程工程研究所杨超副所长主持，中国化工经济技术发展中心教授级高工徐京生、昊华气体有限公司首席战略官郭琼、浙江省化工研究院教授级高工白占旗、滨州裕能化工有限公司技术总监宋彦磊、中国科学院福建物质结构研究所主任郭国聪、华东理工大学化学工程研究所教授许振良、北京化工大学教授李群生、中科院过程所研究员刘瑞霞、湖北兴福电子材料有限公司总经理助理崔会东、中国计量研究院教授级高工全灿等10位嘉宾进行了精彩报告。

光刻胶及电子材料发展论坛由中国石油和化学工业联合会科技与装备部副主任罗其明主持，北京化工大学教授聂俊、北京科华微电子材料有限公司首席专家李冰、常州强力电子新材料股份有限公司电子材料事业部总经理胡春青、中科院化学所研究员杨士勇、中科院深圳先进院研究员孙蓉（委派代表）、中国电子系统工程第四建设有限公司主任赵丽霞、广东工业大学教授霍延平（委派代表）、福州大学石油化工学院常务副院长教授侯琳熙、多氟多化工股份有限公司董事长李世江、江苏怡达化学股份有限公司研发部部长刘涌、石油和化工规划院处长李岩等11位嘉宾进行了报告。

工作组秘书处设在化工行业生产力促进中心和中国科学院过程工程研究所，聘请中国科学院过程工程研究所刘瑞霞研究员、华超研究员，以及化工行业生产力促进中心曾春阳等3位同志为秘书处副秘书长。 

工作组秘书处联系方式：

化工行业生产力促进中心：
曾春阳（主  管）：13911389595  chunyangzeng@163.com
李文军（研究员）：13611387893  1605284630@qq.com
中科院过程工程研究所：
刘瑞霞（研究员）：18518225906  rxliu@ipe.ac.cn